简要描述:大平台晶圆线路板检查测量显微镜旋转轮上刻有1000个等分格,每格为1微米,当旋转轮转动一周时,显微镜沿Z轴尺移动微米,当旋转轮旋转过1个等分格,显微镜就沿标尺移动0.001mm。方便细小型样品聚焦清晰。
大平台晶圆线路板检查测量显微镜测量与读数
1.调节目镜进行视场调整,使显微镜十字线最清晰即可;转动调焦手轮,从目镜中观测,使被测工件成像清晰;可调整被测工件,使被测工件的一个横截面和显微镜移动方向平行。
2.转动旋转轮可以调节十字竖线对准被测工件的起点,在标尺上读取毫米的整数部分,在旋转轮上读取毫米以下的小数部分。两次读数之和是此点的读数A。
3.沿着同方向转动旋转轮,使十字竖线恰好停止于被测工件的终点读数A′,记下此时所测量工件的长度。
大平台晶圆线路板检查测量显微镜产品参数
1.主体规格
◆X坐标行程: 310(mm)
◆Y坐标行程: 310(mm)
◆Z坐标行程: 50(mm)
◆操控方式:XY手动同轴低手位粗微调可切换(带快速移动)
Z轴手脉电动操控(快上-快下-中档-慢档切换)
◆反射照明光源:
明暗场反射照明器,带明暗场照明切换装置;
可变视场光阑与孔径光阑,均可调中心,带滤色片插槽与偏光装置插槽。
可根据客户产品不同而选择DIC微分干涉功能。
2.目视系统
◆物镜放大倍数:五孔旋转器,标配5X、10X、20X、50X明暗场半复消色差金相物镜(可选配100X)
标配手动鼻轮(可选配电动鼻轮)
◆目镜放大倍数:10X( 单、双目同,PL10X25mm)
◆总放大倍数: 50X-500X(包括畸变在内的)
3.影像系统
◆摄像机接口:C型接口,可调焦
◆CCD:630万高清数字相机(自带软件可显示影像视窗及二维尺寸量测)
◆综合影像最大放大倍数:1000X以上
使用注意事项:
1.在松开每个锁紧螺丝时,必须用手托住相应部分,以免其坠落和受冲击。
2.注意防止回程误差,由于螺丝和螺母不可能密合,螺旋转动方向改变时,它的接触状态也改变,两次读数将不同,由此产生的误差叫回程误差。为防止此误差,测量时应向同一方向转动,使十字线和目标对准,若移动十字线超过了目标,就要多退回一些,重新再向同一方向转动。