简要描述:高度测量显微镜显微镜配备了操作简单,功能强大的测量软件,客户可根据需要设置测试偏好。软 件附带了各类手动取点与自动取点的测量功能,适功能高度集成的一体式设计使用范围更广,即使对复杂的形状,也可以进行高精度测量。
高度测量显微镜显微镜结合了金相显微镜的高倍观察能力,和影像测量仪的 X、Y、Z 轴 表面尺寸测量功能,具备明暗场、微分干涉、偏光等多种观察功能。 可广泛应用于半导体、PCB、LCD、手机产业链、光通讯、基础电子、模具五金。它配备了操作简单,功能强大的测量软件,客户可根据需要设置测试偏好。软 件附带了各类手动取点与自动取点的测量功能,适功能高度集成的一体式设计使用范围更广,即使对复杂的形状,也可以进行高精度测量。
TOCK-M50-H高度测量显微镜软件功能:
能够抓取很弱的边缘,可任意设定寻边方向,避免寻边错 误,灵活设置寻边参数,去除杂点及毛边的影响。
(1)软件根据用户测量步骤顺序自动编制用户程序。并控 制程序的运行停止等。
(2)可以对用户程序及每一个步骤进行编辑、排序、插入、 删除等操作,适应各种复杂多变的测量步骤。
(3)测量大批量工件时,只需进行一次寻边测量,避免重 复动作,省时省力。
产品技术参数:
测量范围 | 200*100 | 200*200 | 300*200 | 400*300 |
光学系统 | 无限远光学系统 | |||
成像方式 | 5°~35°倾角可调,正像,无限远铰链三目观察筒,瞳距调节范围:50MM~76MM; | |||
倒像,无限远铰链三目观察筒,瞳距调节范围:50MM~76MM; | ||||
正像,无限远铰链三目观察筒,瞳距调节范围:50MM~76MM; | ||||
目镜 | 高眼点大视野平场目镜10X,视场直径23MM,可视度可调,可带测微尺; | |||
物镜 | 无限远长工作距半复消色差明场金相物镜5X、10X、20X、50X、100X | |||
无限远长工作距半复消色差明暗场金相物镜5X、10X、20X、50X、100X | ||||
无限远长工作距全复消色差明暗场金相物镜10X、20X、50X、100X | ||||
无限远超长工作距高分辨率全复消色差95MM可见光APO金相物镜2X、5X、10X、20X、50X、100X | ||||
放大倍率 | 光学:50X-1000X | 影像:135X-2700X | ||
转换器 | 5孔手动转换器(带DIC插槽) 5孔自动转换器(带DIC插槽) | |||
照明系统 | 明暗场反射照明器,带明、暗场照明器切换装置,带滤色片插槽与偏光装置插槽,5WLED灯源,5WLED透射光源,亮度均可调 | |||
明场反射照明器,带滤色片插槽与偏光装置插槽,5WLED灯源,5WLED透射光源,亮度均可调 | ||||
辅助对焦模块,带明、暗光楔切换装置,带绿光5W LED灯源 | ||||
调焦方式 | 手动粗微调,粗微调同轴,左右手柄 | |||
相机 | 像素1200万,靶面尺寸:1/1.8,4000(H)×3000(V),最大帧率:20 FPS | |||
测量精度 | (2.5+L/200)μm | |||
产品结构 | 铸铁,大理石 |